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什么是石墨舟

2025-08-03 03:12:56

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2025-08-03 03:12:56

什么是石墨舟】石墨舟是一种在高温工业中广泛应用的耐火材料工具,主要用于半导体、光伏、陶瓷等行业的热处理工艺。它由高纯度石墨制成,具有良好的导热性、化学稳定性和热膨胀系数低等特点,能够承受极高的温度环境。

一、什么是石墨舟?

石墨舟是用于承载和支撑工件,在高温炉中进行热处理的一种容器或支架。其主要作用是确保工件在加热过程中均匀受热,同时防止氧化和污染。石墨舟通常用于高温烧结、退火、扩散等工艺,广泛应用于半导体制造、太阳能电池片生产、金属材料加工等领域。

二、石墨舟的特点

特点 描述
材料 高纯度石墨,含碳量≥99.9%
耐高温 可承受1600℃以上的高温
导热性好 热传导效率高,有利于均匀加热
化学稳定性强 抗腐蚀性强,不易与大多数化学物质反应
热膨胀系数低 在高温下不易变形,结构稳定
使用寿命长 在适当维护下可重复使用多次

三、石墨舟的应用领域

应用领域 说明
半导体制造 用于晶圆的高温处理,如退火、扩散等
光伏行业 在硅片生产中用于高温烧结
陶瓷烧结 用于陶瓷材料的高温成型
金属加工 用于金属粉末的烧结和热处理
实验室研究 作为高温实验中的支撑材料

四、石墨舟的选用要点

1. 纯度要求:根据工艺需求选择不同纯度的石墨舟,高纯度适用于对杂质敏感的工艺。

2. 尺寸规格:需根据设备和工件大小定制合适的尺寸。

3. 表面处理:部分应用需要对石墨舟进行涂层处理以增强耐腐蚀性。

4. 使用寿命:根据使用频率和温度条件选择耐用性更高的产品。

五、石墨舟的维护与保养

- 定期清理表面残留物,避免杂质影响后续使用;

- 避免剧烈温度变化,防止热应力导致开裂;

- 存放时应保持干燥,防止受潮影响性能。

总结

石墨舟是一种在高温工业中不可或缺的重要工具,凭借其优良的物理和化学性能,被广泛应用于多个高科技制造领域。正确选择和维护石墨舟,不仅能提高生产效率,还能延长使用寿命,降低整体成本。

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